308减反射镜
193nm紫外减反射镜,用于准分子激光系统、光刻光学系统
检测设备一 激光功率计
检测设备二 高速光电探测器
检测设备三 光斑分析仪
检测设备四 测试用电源
检测设备五 损伤测试系统
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