服务和支撑 Service
首页 > 服务和支撑

晶圆级金属/半导体薄膜制备与开发

2024-04-17

图片10.jpg    

    公司引进了美国大型(Max:8inch)磁控溅射仪与中芯国际、Intel、ASML等公司所用同款设备),兼具高质与量产能力。主营晶圆级半导体与金属薄膜的制备和开发。可镀制的材料有:

1. 金属薄膜:

铝(Al)、铜(Cu)、钨(W)、钛(Ti)、钽(Ta)、银(Ag)

2. 氮化物薄膜:

氮化钛(TiN)、氮化钽(TaN)、氮化硅(Si₃N₄)、氮化铝(AlN)

3. 氧化物薄膜

氧化铝(Al₂O₃)、氧化钛(TiO₂)、氧化锆(ZrO₂)、氧化铌(Nb₂O₅)、ITO、IGZO、AZO

4. 半导体薄膜

硅(Si)、硅碳(SiC)、锗(Ge)、硒(Se)、碲(Te)、氧化钒(VOx)、二氧化钒(VO2)、氧化镓(Ga2O3)、氧化镁(MgO)

    此外,设备配备强大的射频系统及气路系统,可实现多种工艺的兼容开发,提供多种新工艺开发及解决方案。


Copyright  ©  2024- 徕泰信光(深圳)半导体有限责任公司   All Rights Reserved.   备案号:粤ICP备2024261481号-1 腾云建站仅向商家提供技术服务