公司引进了美国大型(Max:8inch)磁控溅射仪(与中芯国际、Intel、ASML等公司所用同款设备),兼具高质与量产能力。主营晶圆级半导体与金属薄膜的制备和开发。可镀制的材料有:
1. 金属薄膜:
铝(Al)、铜(Cu)、钨(W)、钛(Ti)、钽(Ta)、银(Ag)
2. 氮化物薄膜:
氮化钛(TiN)、氮化钽(TaN)、氮化硅(Si₃N₄)、氮化铝(AlN)
3. 氧化物薄膜
氧化铝(Al₂O₃)、氧化钛(TiO₂)、氧化锆(ZrO₂)、氧化铌(Nb₂O₅)、ITO、IGZO、AZO
4. 半导体薄膜
硅(Si)、硅碳(SiC)、锗(Ge)、硒(Se)、碲(Te)、氧化钒(VOx)、二氧化钒(VO2)、氧化镓(Ga2O3)、氧化镁(MgO)
此外,设备配备强大的射频系统及气路系统,可实现多种工艺的兼容开发,提供多种新工艺开发及解决方案。